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      石河子大學學報(自然科學版)

      2017, (05)

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      鹵硅烷體系脫除B、P雜質工藝的現狀及發展趨勢

      張海洋1,李星1,張傳明1,滿寶昌1,付雁2,吳成坤3,張金利1,2,代斌1

      摘要(Abstract):

      首先,重點介紹了目前鹵硅烷體系脫除B、P雜質工藝的研究進展,概述了國內外相關研究主要的方法、結果與發現;其次,分析了鹵硅烷體系脫除B、P雜質工藝研究的現狀,歸納出目前國內外各種方法的優劣性及適用性;最后,對我國鹵硅烷體系脫除B、P雜質工藝研究進行了展望,提出我國該工藝研究的發展趨勢與方向,今后我國應加強吸附法的研究,分子設計并合成具有特定功能的原子或基團的樹脂吸附劑,用于鹵硅烷體系除B、P雜質,最終形成流程簡單、能耗較低、除雜效果穩定的樹脂吸附工藝。

      關鍵詞(KeyWords): 鹵硅烷;B、P 雜質;提純;樹脂吸附

      Abstract:

      Keywords:

      基金項目(Foundation): 教育部“創新團隊發展計劃”(IRT_15R46),國家自然科學基金(21706167),天津市應用基礎與前沿技術研究計劃 (15JCQNJC05800),石河子大學高層次人才科研啟動(RCZX201507)項目

      作者(Author): 張海洋1,李星1,張傳明1,滿寶昌1,付雁2,吳成坤3,張金利1,2,代斌1

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      DOI:

      參考文獻(References):

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